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ターボ分子ポンプ



ターボ分子ポンプ


MTPシリーズは、磁気浮上技術を採用した高性能ターボ分子ポンプです。
磁気浮上ベアリングにより、摩耗がなく、長寿命で高信頼性を実現しています。
また、オイルフリー設計により、クリーンな真空環境を提供し、半導体製造や分析機器など、厳しい真空条件が求められるアプリケーションに最適です。

4つのポイント


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磁気浮上ベアリング

非接触での回転を可能にし、摩耗がなく、メンテナンスフリーで長寿命を実現。

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オイルフリー設計

真空チャンバー内への油蒸気の侵入を防ぎ、クリーンな真空環境を維持。

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コンパクト設計

省スペースでの設置が可能。

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Traceability

多様なフランジオプション

ISO-K、CFなど、各種フランジに対応。

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